干式真空泵在使用一段時間之后，為了能夠有效的維持設備的使用效率，我們需要定期的對真空泵進行進行清洗工作，從而使清理后的設備效率更高，更好用。
真空泵由許許多多的零件組成，它們都是經過各種機械加工完成的，如車、銑、飽、磨、鏜、焊接等。這樣使零件表面不可避免的會沾上許多機加工油脂、汗痕、拋光膏，焊劑等。此外，加工中的焊接夾雜、金屬屑、油垢等也會留在孔隙凹坑之處。這些污染物在真空中易揮發，影響真空泵的級限真空。此外，污染物在大氣壓下還吸附了大量氣體，在真空環境中，也要釋放出來，構成了限制級限真空的因素。為此，零件組裝前一定要除掉污染物。
真空泵使用過程中，零件還會受到污染。這種污染同使用條件及真空泵有關。如真空干燥系統，經常使用后會受到蒸發出來的物質污染。此外，真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發會使其附近形成金屬膜。規管燈絲在高溫下蒸發，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強度，影響測量的準確性。此外還會發生短路、打火等觀象。
因為，雜質的污染很大的影響了干式真空泵的整體性能，所以用戶在使用時應及時的進行清理，避免影響設備的使用效率和縮短設備使用壽命。
