干式真空泵的應用范圍

　　要想更好的掌握操作干式真空泵，那么就要對該真空泵設備有著更多面的了解，這樣才能幫助自己更好的使用設備。所以下面小編就來給大家講講該真空泵設備的應用范圍有哪些。
　　1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
　　4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等；
　　5、將干式真空泵用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
　　所以干式真空泵的應用范圍還是非常廣泛的，但在不同行業當中使用該真空泵設備時的注意事項也是不太一樣，從而在操作使用的時候需要根據實際的工況來對設備進行調試、操作。