由于干式無油真空泵的運行主要依靠各個配件的配合，所以時刻保證各個配件的完好十分重要，首先排氣閥屬于配件中的關鍵，定期的檢修，可有效的避免故障發生，保證真空泵的使用效率及使用壽命。
按經驗判斷，因此先拆下端蓋，檢查干式無油真空泵泵腔圓度錐度，端面配合公差，偏心輪平行性等，其結果，問題均不大，在允許范圍內。裝配后真空度仍擺動，又懷疑泵體密封漏氣，于是用蟲膠漆溶液涂刷幾次，待干后再抽測，然后聽泵音，發現閥片跳動音不太清脆也略有不勻，有時，可看到有幾個氣泡冒出來但查閥片并未壞。再仔細觀察，發現閥片關不死出氣口。經檢查，發現閥片按裝后角度不對，即與出氣口不平行。
這時采取把閥片壓板修成一定角度，并加彈簧壓緊閥片，這樣，再測試真空度，表針不再擺動，經運轉證明，確實修好。
在使用中得知，干式無油真空泵排氣閥的故障主要表現在泵腔變形和真空度擺動等方面，所以為了避免這些現象的產生，我們需要做好定期的檢修工作，并且，為了保證整體設備的使用效率，相關的維護檢查工作也是不能缺少的。
