很多時候，污染不光表現在外在的環境對我們的各種活動所造成的影響，還表現在我們使用的各種物品上對我們造成的影響，對于干式真空泵來說，泵油既是必要品，又可能造成污染。
干式真空泵一切光滑油都依其化學組成和所處外界條件的不同，而具有不同水平的自動氧化傾向。泵油在有空氣(或氧氣)及金屬催化劑的存在下，在一定溫度下的氧化時間里，會呈現油品的酸值、粘度變化及生成沉淀物的狀況。會隨運用過程而發作氧化作用，因此逐步生成一些醛、酮、酸類和膠質、瀝青質等物質，氧化安定性則是抑止上述不利于油品運用的物質生成的性能。水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的真空度降落。因此防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。
一般的防止的措施有：選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用；運用吸水性強的單調劑；運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。油擴散泵真空系統是運用普遍的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3×10-3—1.3×10-5Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置，長期運用后，常見的缺點是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的真空水平。
因此，我們對泵油的使用歸使用，但是在針對防治污染的問題上，我們可不能猶豫，這樣的問題要今早解決好，不然可影響我們對干式真空泵的使用。
